三次元檢測的原理是將被測物體置于三坐標(biāo)測量空間，可獲得被測物體上各測點(diǎn)的坐標(biāo)位置，根據(jù)這些點(diǎn)的空間坐標(biāo)值，經(jīng)計算求出被測物體的幾何尺寸，形狀和位置。它可以測量被測物的同心度，平行度，平面度，同軸度，位置度，垂直度等幾何形位公差。

直線度：直線度是表示零件上的直線要素實際形狀保持理想直線的狀況。也就是通常所說的平直程度。直線度公差是實際線對理想直線所允許的變動量。也就是在圖樣上所給定的，用以限制實際線加工誤差所允許的變動范圍。

平面度：平面度是表示零件的平面要素實際形狀，保持理想平面的狀況。也就是通常所說的平整程度。平面度公差是實際表面對平面所允許的變動量。也就是在圖樣上給定的，用以限制實際表面加工誤差所允許的變動范圍。

圓度：圓度是表示零件上圓的要素實際形狀，與其中心保持等距的情況。即通常所說的圓整程度。圓度公差是在同一截面上，實際圓對理想圓所允許的變動量。也就是圖樣上給定的，用以限制實際圓的加工誤差所允許的變動范圍。

圓柱度：圓柱度是表示零件上圓柱面外形輪廓上的各點(diǎn)，對其軸線保持等距狀況。圓柱度公差是實際圓柱面對理想圓柱面所允許的變動量。也就是圖樣上給定的，用以限制實際圓柱面加工誤差所允許的變動范圍。

線輪廓度：線輪廓度是表示在零件的給定平面上，任意形狀的曲線，保持其理想形狀的狀況。線輪廓度公差是指非圓曲線的實際輪廓線的允許變動量。也就是圖樣上給定的，用以限制實際曲線加工誤差所允許的變動范圍。
面輪廓度：面輪廓度是表示零件上的任意形狀的曲面，保持其理想形狀的狀況。面輪廓度公差是指非圓曲面的實際輪廓線，對理想輪廓面的允許變動量。也就是圖樣上給定的，用以限制實際曲面加工誤差的變動范圍。

平行度：平行度是表示零件上被測實際要素相對于基準(zhǔn)保持等距離的狀況。也就是通常所說的保持平行的程度。平行度公差是：被測要素的實際方向，與基準(zhǔn)相平行的理想方向之間所允許的變動量。也就是圖樣上所給出的，用以限制被測實際要素偏離平行方向所允許的變動范圍。

垂直度：垂直度是表示零件上被測要素相對于基準(zhǔn)要素，保持正確的90°夾角狀況。也就是通常所說的兩要素之間保持正交的程度。垂直度公差是：被測要素的實際方向，對于基準(zhǔn)相垂直的理想方向之間，所允許的變動量。也就是圖樣上給出的，用以限制被測實際要素偏離垂直方向，所允許的變動范圍。

傾斜度：傾斜度是表示零件上兩要素相對方向保持任意給定角度的正確狀況。傾斜度公差是：被測要素的實際方向，對于基準(zhǔn)成任意給定角度的理想方向之間所允許的變動量。

對稱度：是表示零件上兩對稱中心要素保持在同一中心平面內(nèi)的狀態(tài)。對稱度公差是：實際要素的對稱中心面(或中心線、軸線)對理想對稱平面所允許的變動量。該理想對稱平面是指與基準(zhǔn)對稱平面(或中心線、軸線)共同的理想平面。

同軸度：同軸度是表示零件上被測軸線相對于基準(zhǔn)軸線，保持在同一直線上的狀況。也就是通常所說的共軸程度。同軸度公差是：被測實際軸線相對于基準(zhǔn)軸線所允許的變動量。也就是圖樣上給出的，用以限制被測實際軸線偏離由基準(zhǔn)軸線所確定的理想位置所允許的變動范圍。